ALD3系列美國swagelok隔膜閥工作原理及組成
美國swagelok是半導體芯片制造應用的技術和解決方案提供商，同時也是 ALD 閥門技術的*。我們的 ALD 超高純 (UHP) 閥具有以下特點：
高速啟動下的超高循環(huán)壽命
Cv 范圍從 0.27 至 1.7
使用熱動元件時，全浸沒溫度高達 392°F (200°C)
適合于采用標準 316L VIM-VAR 不銹鋼閥體的 UHP 應用
模塊化表面安裝、卡套管對焊和 VCR端接
電子或光學執(zhí)行機構位置傳感選購件
ALD3系列美國swagelok隔膜閥工作原理及組成如下：
隔膜閥用耐腐蝕襯里的閥體和耐腐蝕隔膜代替閥芯組件，利用隔膜的移動起調節(jié)作用。隔膜閥的閥體材料采用鑄鐵、鑄鋼，或鑄造不銹鋼，并襯以各種耐腐蝕或耐磨材料、隔膜材料橡膠及聚四氟乙烯。襯里的隔膜耐腐蝕性能強，適用于強酸、強堿等強腐蝕性介質的調節(jié)。
隔膜閥的結構簡單、流體阻力小、流通能力較同規(guī)格的其他類型閥大；無泄漏，能用于高粘度及有懸浮顆粒介質的調節(jié)。隔膜把介質與閥桿上腔隔離，所以沒有填料介質也不會外漏。但是，由于隔膜和襯里材料的限制，耐壓性、耐溫性較差，一般只適用于1.6MPa公稱壓力和150℃以下。
隔膜閥的流量特性接近快開特性，在60%行程前近似為線性,60%后的流量變化不大。氣動形式的隔膜閥尚可附裝反饋信號、限位器及定位器等裝置，以適應自控、程控或調節(jié)流量的需要。氣動隔膜閥的反饋信號采用無觸點傳感技術。該產(chǎn)品采用薄膜式推進氣缸，替代活塞氣缸，排除了活塞環(huán)易損壞，造成泄漏而導致無法推動閥門啟閉的弊端。當氣源發(fā)生故障時，尚可操作手輪使閥門啟閉。
ALD3系列美國swagelok隔膜閥密封原理：
隔膜閥的密封原理是靠操作機構的向下運動壓下隔膜或隔膜組合件與堰式的襯里閥體或直通式襯里閥體的通道相密合，使之達到密封。密封比壓的大小靠關閉件向下的壓力大小來實現(xiàn)。由于閥體可以襯各種軟質材料，如橡膠或聚四氟乙烯等；隔膜也是軟質材料制成，如橡膠或合成橡膠襯里的聚四氟乙烯，故用較小的密封力就能達到*密封。
隔膜閥只有閥體、隔膜和閥蓋組合件三個主要部件。隔膜把下部閥體內腔與上部閥蓋內腔隔開，使位于隔膜上方的閥桿、閥桿螺母、閥瓣、氣動控制機構、電動控制機構等零部件不與介質接觸，且不會產(chǎn)生介質外漏，省去了填料函的密封結構。
ALD 隔膜閥具有超長的使用壽命、高速的啟動和高達 0.62 的流量系數(shù)，與熱執(zhí)行機構、位置傳感器和電磁閥配合使用，可在原子層沉積應用場合實現(xiàn)佳性能。
ALD3系列美國swagelok隔膜閥規(guī)格：
工作壓力 真空至 145 psig (10.0 bar)
爆裂壓力 3200 psig (220 bar)
執(zhí)行壓力 50 至 90 psig（3.5 至 6.2 bar）
溫度 32° 至 392°F（0° 至 200°C）
流量系數(shù)(Cv) 0.27 或 0.62
閥體材料 316L VIM-VAR 不銹鋼
隔膜材料 鈷基高溫合金
端接
類型（尺寸） 內螺紋 VCR面密封接頭（1/4 in. 至 1/2 in.）
外螺紋 VCR 面密封接頭（1/4 in. 至 1/2 in.）
模塊化表面安裝高流量 C 型密封（1.125 in. 至 1.5 in.）
東莞市廣聯(lián)自動化設備有限公司專業(yè)供應進口電磁閥、氣缸、泵、傳感器、繼電器、開關、離合器、過濾器、濾芯、流量計、液位計、編碼器、伺服閥等產(chǎn)品。德國美國有公司，廠家一手貨源，詳請致電。
